產(chǎn)品描述：微氣體質(zhì)量流量計能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償。

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產(chǎn)品概述

SCMFM微氣體質(zhì)量流量計

微氣體質(zhì)量流量計的概述：

采用關鍵矽微機械加工技術(shù)的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的MEMS（ Microelectromechanical systems）氣體質(zhì)量流量計和流量控制器，主要應用于輕工、化工、環(huán)保及半導體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。
該產(chǎn)品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償。

微氣體質(zhì)量流量計的技術(shù)參數(shù)：

2.1 測量介質(zhì)：各種氣體（乙炔氣和混合氣體除外）
2.2 流量范圍：DN3 30-300ml/min
DN6 60-600ml/min
DN8 80-800ml/min
DN10 100-1000ml/min
注：
a)以上流量的測量介質(zhì)為空氣而言；
b)以上流量的標準狀態(tài)20℃，101.325kPa。
c) 每個口徑量程范圍均可擴大
d)特殊需要可單獨標定
2.3 流量測量準確度：±1.5%FS；±2.5%FS
2.4 工作溫度范圍：0-55℃；
2.5 工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa
2.6 供電電源：24VDC±10%；
2.7 輸出信號：4-20mA，RS485通訊；
2.8 環(huán)境溫度：0-55℃；
2.9 顯示位數(shù)：瞬時流量為三位，累積流量10位。

微氣體質(zhì)量流量計的工作原理：

uf感熱式芯片技術(shù)是采用大規(guī)模集成電阻的工作，保證傳感器的高度*，解決了：“現(xiàn)在傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計無法保證其傳感器的電阻值的*性，導致傳感器在各個法線方向熱傳導速度的差異，所以傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計在傳感器校準和使用過程中產(chǎn)品穩(wěn)定性存在問題，實際應用中的熱式質(zhì)量流量計價格昂貴，大規(guī)模應用比較難”的問題。而uf感熱式芯片的功耗大大小于普通的熱式質(zhì)量流量計，同時可靠性穩(wěn)定,安全性更好。

在芯片上，一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上。采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導，使動態(tài)響應時間大大提高。當傳感器工作時，微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差（通常是70℃），在芯片周圍形成固定的溫度場分布。如果氣體是單向流動，則在氣道中溫度場可用下述公式來計算：

微小氣體質(zhì)量流量計

式中：氣體流動方向為ｘ，速度為ｖ，ａ為擴散率。
如上圖（式）所示，當氣體流過芯片時，將會帶走熱量，通過質(zhì)量流量qm和電壓V的對應關系來計算流體的質(zhì)量流量。

微氣體質(zhì)量流量計的分類與命名

微氣體質(zhì)量流量計的型號命名

MF?	?	?	?	?	?	?	?	?	?
									接頭類型	0：普通
										1：Swagelok接頭
										2：其他
								連接形式	0：快速接頭
								連接形式	1：法蘭式
							標定方式	0：空氣
								1：氫氣
								2：氧氣
								3：氮氣
						品種	01：有顯示；有485通訊口；有4-20mA輸出
							02：有顯示；有485通訊口；無4-20mA輸出
							03：有顯示；無485通訊口；有4-20mA輸出
							04：有顯示；無485通訊口；無4-20mA輸出
							05：無顯示；有485通訊口；無4-20mA輸出
							06：無顯示；無485通訊口；有4-20mA輸出
					材質(zhì)	0：304不銹鋼
						1：316不銹鋼
						2：316L不銹鋼
						3：鋁
						4：其他
				壓力	0：≤0.3Mpa
					1：≤0.6Mpa
					2：≤1.0Mpa
			被測介質(zhì)
		流量范圍
	產(chǎn)品通徑	03：DN3
		06：DN6
		08：DN8
		10：DN10
產(chǎn)品類型	M：質(zhì)量流量計
產(chǎn)品類型	C：質(zhì)量流量控制器